• 產品詳情
    • 產品名稱:Symetrie Nanopos 6-D Hexapod

    • 產品型號:
    • 產品廠商:Symetrie
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    簡單介紹:
    NANOPOS六軸并聯定位臺 Nanometer resolution miniature hexapod
    詳情介紹:



    • 水平運動分辨率10nm
    • 角度運動分辨率1μrad
    • 負載達500g
    • 中間位置高度68mm

    • 主要參數


    NanoPos
    運動及定位
    行程Tx,Ty(mm) ±5
    行程Tz(mm) ±4
    行程Rx,Ry(deg) ±7
    行程Rz(deg) ±10
    分辨率Tx,Ty(nm) 10
    分辨率Tz(nm) 10
    分辨率Rx,Ry(μrad) 1
    分辨率Rz(μrad) 1
    重復精度Tx,Ty(nm) ±75
    重復精度Tz(nm) ±75
    重復精度Rx,Ry(μrad) ±2
    重復精度Rz(μrad) ±2
    機械特性
    負載(kg)(垂直方向/水平方向) 0.5
    電機類型 陶瓷電機
    NanoPos
    其它特性
    工作溫度(℃) +5~+40
    材料 鋁,銦鋼,陶瓷,不銹鋼
    運動臺面(mm) Φ70
    中孔(mm) Φ32
    中間位置高度(mm) 68
    質量(kg) 505
    線長(m) 1.2
    可選項 用戶可以定制平臺面;更大行程;真空兼容;無磁應用;尺寸可擴展
    控制器
    控制類型 CAPELLA
    接口 Ethernet,USB,串口(RS-232)
    輸出功率 110-240 VAC/ 50-60Hz

    尺寸圖

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